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J-GLOBAL ID：201002267249971250   整理番号：10A1068905

SiC半導体用Ni/Al電極での界面伝導に及ぼすNi₂Si(Al)の電気的特性の影響

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著者 (5件)： 中川渉 (京大 工) ,  本橋雄介 (京大 工) ,  伊藤和博 (京大 工) ,  白井泰治 (京大 工) ,  村上正紀 (立命館大)
資料名： 日本金属学会講演概要  (Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)
巻： 147th  ページ： 367  発行年： 2010年09月25日 
JST資料番号： S0988A  ISSN： 1342-5730  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 半導体金属接合 ,  *炭化ケイ素 ,  半導体 ,  *ニッケル ,  *アルミニウム ,  真空蒸着 ,  基板 ,  サファイア ,  熱処理 ,  微細構造 ,  化学組成 ,  *電極 ,  *界面 ,  *電気伝導 ,  *ケイ化物 ,  ニッケル化合物 ,  置換型固溶体 ,  *電気的性質 ,  ケイ化ニッケル ,  鉱石 ,  宝石
準シソーラス用語： 電気的特性

分類 (1件)： 半導体-金属接触  (BM03084G)

タイトルに関連する用語 (6件)： SiC ,  Ni ,  Al ,  界面 ,  伝導 ,  電気的特性