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J-GLOBAL ID：200902213478746968   整理番号：08A0671450

NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化

Fabrication of High Resolution Multi-axis Tactile Sensor by Using Polymer/Si Cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge

著者 (8件)： HUANG Yu-Ming (大阪大) ,  寒川雅之 (大阪大) ,  大西浩之 (大阪大) ,  金島岳 (大阪大) ,  奥山雅則 (大阪大) ,  山下馨 (京都工繊大) ,  野田実 (京都工繊大) ,  野間春生 (国際電気通信基礎技術研)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-08  号： 7-21  ページ： 31-34  発行年： 2008年06月12日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ヒューマンサポートロボットへの応用を考えた多軸触覚センサについて述べた。人にサービスを提供するヒューマンサポートロボットに十分な安全性と作業性を与えるためには,センサ・信号処理・アクチュェータが協調して動作することが必要である。センサは特に直接対象物と接して情報を得る触覚が重要であり,中でも人間の皮膚並みの機能を持った触角センサ強く要望されている。これを満たすものとして,傾斜角を持ちエラストマー内に埋め込まれている2組のマイクロカンチレバーを用いて,圧力及び水平方向2軸のせん断力を計算可能な集積化多軸触覚センサシステムを提案した。今回,これの検知部に従来のPtの薄膜歪ゲージに比べ抵抗温度係数の小さいNiCr薄膜ゲージを用いて分解能の向上を図った。この結果,抵抗温度係数はPt薄膜ゲージを用いたものより1/3になった。また,圧力及びせん断力に対する応答は従来のものより感度は減少したが,温度ドリフトの影響は減らせた。

シソーラス用語： 薄膜 ,  型 ,  触覚センサ ,  *ロボット ,  基礎研究 ,  改良
準シソーラス用語： NiCr薄膜 ,  Pt ,  Si ,  エラストマ ,  ヒューマンサポートロボット ,  ポリマ ,  マイクロカンチレバー ,  *高分解能化 ,  *多軸触覚センサ ,  歪ゲージ

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  研究開発  (IA01040H)

引用文献 (7件)：

• 吉田俊介, 溝田晃一, 樋口克己, 金島岳, 野間春生:「圧力と勢断力とが同時に計測可能な触覚センサの開発--講造模型による計測原理の予備検討--」, 日本バーチャルリアリティ学会第12回大会, 1B3-5(2007)
• M. Sohgawa, Y. M. Huang, T. Kanashima, K. Yamashita, M. Noda, M. Okuyama, and H. Noma: “Fabrication and Characterization of Silicon-Polymer Beam Structures for Cantilever-Type Tactile Sensors”, Transducers ’07, pp. 1461(2007)
• 寒川雅之, 野田実, 黄裕銘, 金島岳, 山下馨, 奥山雅則, 池田正哲, 野間春生:「適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価」, 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, pp. 47(2007).
• 黄裕銘, 寒川雅之, 山下馨, 金島岳, 奥山雅則, 野田実, 野間春生:「エラストマーとポリマー/Si傾斜カンチレバーを用いた触覚センサによる圧力と勢断力の計測」, 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジ ウム, PP. 406(2007)
• R. B. Belser, and W. H. Hicklin: “Temperature Coefficients of Resistance of Metallic Films in the Temperature Range 25° to 600°C”, J. Appl. Phys, Vol.30, pp. 313(1959)

タイトルに関連する用語 (8件)： 薄膜 ,  歪みゲージ ,  ポリマー ,  Si ,  カンチレバー ,  多軸 ,  触覚センサ ,  高分解能化