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J-GLOBAL ID：201002232611070994   整理番号：10A0233760

X線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発-形状修正加工の高分解能化とX線集光ミラーへの適応-

Development of nanometer level accurate computer-controlled figuring with high spatial resolution and its application to hard X-ray focusing minor

著者 (7件)： 三村秀和 (大阪大 大学院工学研究科) ,  三村秀和 (JST-さきがけ) ,  湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 76  号： 3  ページ： 338-342  発行年： 2010年03月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,X線ミラー作製用のナノ精度表面創成システムの中で,これまで除去が困難であった1mm以下の空間波長帯域の形状誤差を除去するために,形状修正加工での高分解能化を行い,それをX線ミラーに適応し,その有効性について確認した。これにより得た主な知見を次に示した。1)形状修正加工での形状計測システムにおいて,MSIとRADSIを組合せた形状計測システムで得たプロファイルは空間波長1mm以下の領域で,1nm以下の高い測定再現性があること,2)ノズル型EEM加工法で,開口形状を0.15mmにすることで,0.2mmφの大きさの静止加工痕形状を得たこと,3)X線ミラーの作製に本加工システムを適応し,空間波長1mm以下の領域における形状誤差の除去が可能であること,4)作製したX線ミラーの評価をSPring-8の1km長尺ビームラインで行った結果,集光強度プロファイルで,集光点近傍の散乱X線の除去効果と拡大X線での強度均一効果を確認し,本システムがX線ミラー作製に不可欠であること。

シソーラス用語： *反射鏡 ,  *表面加工 ,  超精密加工 ,  精密研削 ,  *形状測定 ,  高分解能 ,  干渉計 ,  干渉測定 ,  *ナノメータ加工 ,  非球面鏡 ,  集光器 ,  形態 ,  測定精度
準シソーラス用語： *X線ミラー ,  EEM ,  表面形状

分類 (3件)： X線技術  (BA02060D) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (9件)： X線ミラー ,  創成法 ,  開発 ,  形状修正 ,  高分解能化 ,  X線 ,  集光 ,  ミラー ,  適応