研究者

J-GLOBAL ID：200901016803577546 更新日: 2022年08月11日

杉野隆

スギノタカシ | Sugino Takashi

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (3件)：電子デバイス、電子機器 , 電気電子材料工学 , 薄膜、表面界面物性

研究キーワード (8件)：低誘電率薄膜 , 冷陰極 , 半導体材料の育成と評価 , 半導体表面の改質 , Low K film , cold cathode , Growth and Characterization of Semiconducing Materials , Modification of Semiconductor Surfaces

競争的資金等の研究課題 (10件)：

低誘電率絶縁体薄膜に関する研究
冷陰極に関する研究
窒化ホウ素炭素薄膜の合成とデバイス応用
ダイヤモンド薄膜の育成とデバイス応用
化合物半導体表面の改質に関する研究

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MISC (137件)：

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Works (4件)：

低誘電率薄膜の研究
2000 -
化合物半導体表面の不活性化
2000 -
Research on low K films
2000 -
Surface Passivation of Compound Semiconductors
2000 -

学歴 (6件)：

- 1997 大阪大学工学研究科電気工学
- 1997 大阪大学
- 1977 大阪大学工学研究科電気工学
- 1974 大阪大学
- 1972 大阪大学工学部電気工学

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学位 (2件)：

工学修士 (大阪大学)
工学博士 (大阪大学)

経歴 (2件)：

1976 - 1987 松下電子工業株式会社研究員
1976 - 1987 Matsushita Electronics Corporation Research Staff

委員歴 (1件)：

1993 - 日本真空協会編集委員

所属学会 (4件)：

電気学会 , 電子情報通信学会 , 日本真空協会 , 応用物理学会

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