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J-GLOBAL ID:200902208555354926   整理番号:03A0582737

活性金属法半導体基板の信頼性評価

Reliability of Active Metal brazing Copper Joint Body Substrate.
著者 (3件):
資料名:
巻: 2003  号: Vol.1  ページ: 313-314  発行年: 2003年08月05日 
JST資料番号: X0587B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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半導体基板として用いられるセラミックスと銅の接合体では接合温...
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分類 (3件):
分類
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固体デバイス材料  ,  平板  ,  破壊力学一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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