文献
J-GLOBAL ID：200902230338039660
整理番号：08A0423903 超臨界二酸化炭素中での高周波プラズマの分光解析
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渡辺高志
(愛大 工)
, 前原常弘
(愛大 大学院)
, 岩前敦
(京大 大学院)
, 竹森俊彦
(愛大 大学院)
, 野村信福
(愛大 大学院)
, 豊田洋通
(愛大 大学院)
, 向笠忍
(愛大 大学院)
, 川嶋文人
(愛大 農)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 について
巻： 55th 号： 1 ページ： 210 発行年： 2008年03月27日
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*二酸化炭素
, 二酸化炭素 について
*プラズマ分光
, プラズマ分光 について
プラズマ処理
, プラズマ処理 について
発光スペクトル
, 発光スペクトル について
発光分光法
, 発光分光法 について
*超臨界二酸化炭素
, 超臨界二酸化炭素 について
*RFプラズマ
RFプラズマ について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*高周波プラズマ
高周波プラズマ について
分類 (1件)：
分類
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プラズマ診断
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(BJ02090L)
プラズマ診断 について
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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超臨界二酸化炭素
, 超臨界二酸化炭素 について
高周波プラズマ
高周波プラズマ について
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