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J-GLOBAL ID：200902296648370529   整理番号：09A0234734

超伝導磁気浮上を適用した非接触スピン処理装置のアクティブ制振の理論検討

Numerical Study on Active Stabilization of Vibration for Non-contact Spin Processor Applying Superconducting Magnetic Levitation

著者 (6件)： 佐藤翔 (新潟大) ,  福井聡 (新潟大) ,  小川純 (新潟大) ,  岡徹雄 (新潟大) ,  佐藤孝雄 (新潟大) ,  斉藤公世 (エムテーシー)
資料名： 電気学会超電導応用電力機器研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： ASC-09  号： 9-19  ページ： 53-57  発行年： 2009年02月20日 
JST資料番号： L1912A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高温超伝導バルクによる磁気浮上系の中立点付近の磁気剛性不足による不安定性を最小限の能動磁気軸受を用いることで安定化する方法を検討した。具体的には,高温超伝導バルクを用いた磁気上を適用した非接触スピン装置を高回転・高加速度が要求されるスピンプロセスへの適用を見据えて,現実的に実現可能な容量の磁気軸受と駆動電源を用いて,最適レギュレータと不釣合いな推定オブザーバによる状態フィードバック制御系の設計およびシステムの挙動特性を数値計算により検証した。

シソーラス用語： *高温超伝導体 ,  *磁気浮上 ,  スピン ,  *防振 ,  磁気軸受 ,  安定化 ,  フィードバック制御 ,  数値計算 ,  *解析
準シソーラス用語： *バルク高温超伝導体 ,  非接触 ,  *アクティブ制振 ,  状態フィードバック制御 ,  *挙動解析

分類 (2件)： 電磁機器  (NB10030C) ,  超伝導体の物性一般  (BM04021A)

引用文献 (2件)：

• S. Fukui, R. Sato, J. Ogawa, T. Oka, M. Yamaguchi, T. Sato, S. Miyazaki, T. Sasahara, T. Tamaki, S. Nishiwaki, Y. Yuki,“Study on Application of Magnetic Levitation Utilizing HIS Bulks to Spin Processors for Photo Mask Production” Physica C, vol.463-465, pp. 1289, 2007.
• S. Fukui, S. Sekiya, J. Ogawa, T Oka, M. Yamaguchi, T. Sato, S. Miyazaki, K. Saito,”Research and development of non-contact spin processor for clean process in semiconductor-related-production system by applying HTS magnetic levitation”, Presented at ISS 2008, BL-9-INV.

タイトルに関連する用語 (6件)： 伝導 ,  磁気浮上 ,  非接触 ,  スピン ,  アクティブ制振 ,  理論