特許

J-GLOBAL ID：200903022143232262

非晶質炭素膜の製造方法

発明者： 村瀬 仁俊 ,  下 俊久 ,  野村 信福 ,  豊田 洋通 ,  山下 浩 ,  倉本 誠
出願人/特許権者： 株式会社豊田自動織機 ,  国立大学法人愛媛大学
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006306997
公開番号（公開出願番号）：WO2006-107002
出願日： 2006年03月27日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

本発明の非晶質炭素膜の製造方法は、有機化合物を含む液体L中に生じ内部にプラズマが発生した気泡Bを基材Sの表面に接触させて、基材Sの表面に非晶質炭素膜を形成する非晶質炭素膜の製造方法であって、液体Lは、炭素数が1〜12であるアルコールおよびフェノールから選ばれる一種以上を含む。本発明によれば、硬質な非晶質炭素膜を容易に成膜できる。

請求項（抜粋）：

有機化合物を含む液体中に生じ内部にプラズマが発生した気泡を基材の表面に接触させて、該基材の表面に非晶質炭素膜を形成する非晶質炭素膜の製造方法であって、 前記有機化合物は、炭素数が1〜12であるアルコールおよびフェノールから選ばれる一種以上からなることを特徴とする非晶質炭素膜の製造方法。

IPC (1件)：

C01B 31/02

FI (1件)：

C01B31/02 101Z

Fターム (18件)：

4G146AA01 ,  4G146AA05 ,  4G146AB07 ,  4G146AC23B ,  4G146AD02 ,  4G146BA11 ,  4G146BA49 ,  4G146BC09 ,  4G146BC16 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030CA02 ,  4K030EA01 ,  4K030EA03 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030KA00 ,  4K030KA30