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J-GLOBAL ID：201702210687135901   整理番号：17A0407492

金属酸化物太陽電池に適した高品質単相CuO薄膜の反応性プラズマ蒸着【Powered by NICT】

Reactive plasma deposition of high quality single phase CuO thin films suitable for metal oxide solar cells

著者 (18件)： Li Zhenzhen (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Li Zhenzhen (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Tong Kemeng (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Tong Kemeng (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Shi Ruifang (Department of Engineering Mechanics, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Shen Yonglong (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Shen Yonglong (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Zhang Yiqiang (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Zhang Yiqiang (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Yao Zhiqiang (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Yao Zhiqiang (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Fan Jiajie (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Fan Jiajie (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Thwaites Mike (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Thwaites Mike (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Shao Guosheng (School of Materials Science and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Shao Guosheng (State Centre for International Cooperation on Designer Low-Carbon and Environmental Materials, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China) ,  Shao Guosheng (Institute for Renewable Energy and Environmental Technologies, University of Bolton, Bolton BL3 5AB, UK)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 695  ページ： 3116-3123  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化銅は持続可能でグリーン材料資源に基づく低コスト太陽電池用の活性光吸収材料としての大きな可能性がある。本研究では,CuO薄膜は新しい高ターゲット利用システム(HiTUS)を用いた反応性スパッタリング蒸着により室温で堆積した。膜をX線回折,Raman分光法,X線光電子分光法(XPS)分析,走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,UV-可視-近赤外吸収分光法およびH all測定によって特性化した。結果は銅酸化物膜の蒸着速度,相構造,光学的および電気的性質はスパッタリング出力と酸素流量に強く依存することを示した。堆積したままの膜は多結晶であり,結晶方位の明らかな優先性はなかった。これは通常の反応性マグネトロンスパッタリング堆積した膜に典型的な厚さ方向の柱状結晶粒界を形成することなく非常にコンパクトな膜が形成された。光吸収分光法は,この研究からのすべてのCuO膜は約1.5eVの間接光学バンドギャップを示し,酸素流量から明らかな効果はないことを示した。Hall測定は,CuO膜は,p型伝導性であり,それらの正孔濃度広範囲10~17 10~22cm~ 3の調整可能な容易にすることを明らかにした。荷電キャリアの濃度(正孔)の精密同調のための能力は高効率でCuO光起電力(PV)電池の工学デリバリーにおいて大きな可能性を実現するために重要である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： スパッタリング ,  *反応性 ,  X線光電子分光法 ,  *太陽電池 ,  光学ギャップ ,  スパッタ蒸着 ,  柱状晶 ,  走査電子顕微鏡 ,  光起電力 ,  X線回折 ,  正孔 ,  原子間力顕微鏡 ,  *酸化第二銅 ,  銅 ,  Raman分光法

著者キーワード (5件)： CuO薄膜 ,  室温スパッタリング蒸着 ,  リモートプラズマスパッタリング ,  オプトエレクトロニクス特性 ,  正孔濃度の調整

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 金属酸化物 ,  太陽電池 ,  高品質 ,  単相 ,  CuO ,  薄膜 ,  反応性プラズマ蒸着