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J-GLOBAL ID：201002212755648833   整理番号：10A1340988

液中プラズマ化学蒸着におけるプラズマ泡と基板の相互作用

著者 (5件)： 豊田洋通 (愛媛大) ,  飯坂康介 (愛媛大) ,  野村信福 (愛媛大) ,  向笠忍 (愛媛大) ,  服部吉晃 (愛媛大)
資料名： 日本機械学会中国四国支部・九州支部合同企画講演会講演論文集  (日本機械学会九州支部・中国四国支部合同企画講演会講演論文集)
巻： 2010  号： 徳島  ページ： 143-144  発行年： 2010年10月01日 
JST資料番号： L0149B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液中プラズマ化学蒸着法で,均質な膜を蒸着するためには,プラズマによって誘起される泡と基板表面の相互作用を把握することが重要である。本研究ではプラズマ蒸着プロセスを高速ビデオカメラによって撮影し蒸着結果とプラズマ泡の振る舞いの関係を調べた。基板近傍での泡の振る舞いは液体と基板表面の濡れ性に関連していると考えられるので,接触角と蒸着実験結果の関係を調べた。均質な膜を蒸着するための条件は接触角が20°~40°であり,基板表面にプラズマが直接接触する時間と液膜の存在時間が同程度であるあることがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： プラズマCVD ,  液相 ,  *基板 ,  *プラズマ相互作用 ,  接触角 ,  プラズマ ,  気泡 ,  濡れ ,  相
準シソーラス用語： プラズマ泡 ,  液中プラズマCVD ,  *液中プラズマ化学蒸着

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 液中プラズマ ,  化学蒸着 ,  プラズマ ,  泡 ,  相互作用