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J-GLOBAL ID：201002227870602119   整理番号：10A1340987

二層誘電体同軸型電極を利用したマイクロ波液中プラズマ

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著者 (4件)： 服部吉晃 (愛媛大 大学院) ,  向笠忍 (愛媛大) ,  豊田洋通 (愛媛大) ,  野村信福 (愛媛大)
資料名： 日本機械学会中国四国支部・九州支部合同企画講演会講演論文集  (日本機械学会九州支部・中国四国支部合同企画講演会講演論文集)
巻： 2010  号： 徳島  ページ： 141-142  発行年： 2010年10月01日 
JST資料番号： L0149B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水中でプラズマを発生させて生成したおOHラジカルのもつ分解作用を水処理に利用する研究が進んでいる一方で,プラズマを発生させるために必要な金属電極がプラズマによって侵食し,水質汚染を招いたり,電極の寿命を低下させる問題があった。そこで本研究ではマイクロ波液中プラズマにおける電極の損傷を調べた。また,金属電極の周りを耐プラズマ性を有する誘電体で覆い,誘電体の表面上でプラズマを発生させる方法を提案し,その効果を確かめた。(著者抄録)

シソーラス用語： 電極 ,  マイクロ波 ,  プラズマ ,  液相 ,  *誘電体 ,  金属電極 ,  電極消耗 ,  相
準シソーラス用語： プラズマ蒸着 ,  *マイクロ波液中プラズマ ,  液中プラズマCVD ,  電極損耗 ,  *同軸型電極

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 二層 ,  誘電体 ,  同軸 ,  マイクロ波 ,  液中プラズマ