文献
J-GLOBAL ID：201102200440591484
整理番号：11A0902265 液中プラズマ化学蒸着法におけるダイヤモンドの最適生成条件の検討
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豊田洋通
(愛媛大)
, 渡部将弘
(愛媛大)
, 野村信福
(愛媛大)
, 向笠忍
(愛媛大)
, 服部吉晃
(愛媛大)
資料名：
日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集
(日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演概要集)
日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集 について
巻： 49th ページ： 425-426 発行年： 2011年02月23日
JST資料番号： L0015A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマCVD
, プラズマCVD について
*薄膜
, 薄膜 について
最適条件
, 最適条件 について
電極
, 電極 について
薄膜成長
, 薄膜成長 について
結晶度
, 結晶度 について
*ダイヤモンド膜
ダイヤモンド膜 について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマ化学蒸着
プラズマ化学蒸着 について
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
気相めっき
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(WC08022K)
, その他の無機化合物の薄膜
気相めっき について
(BK14060A)
その他の無機化合物の薄膜 について
タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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液中プラズマ
, 液中プラズマ について
化学蒸着法
, 化学蒸着法 について
ダイヤモンド
ダイヤモンド について
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