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J-GLOBAL ID：201102274925993053   整理番号：11A0972807

液中プラズマを利用したCVD新技術に関する研究

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著者 (7件)： 野村信福 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  豊田洋通 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  山下浩 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  向笠忍 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  下俊久 (豊田自動織機研究開発セ) ,  奥田真也 (豊田自動織機研究開発セ) ,  林秀高 (豊田自動織機研究開発セ)
資料名： 愛媛大学社会連携推進機構研究成果報告書
号： 4  ページ： 8-12  発行年： 2011年03月 
JST資料番号： L5786B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液中プラズマ法によるダイヤモンドライクカーボン(DLC)の成膜では,異常放電による放電痕によって膜質が悪くなり,生成膜の高度が低下するという問題がある。本論ではDLC膜の損傷を軽減するため,2種類の補助電極を用いた。一つは,中心に穴の開いた銅製のキャップを電極先端に被せて補助電極とし,もう一つは基板に金属メッシュを設けこれを補助電極とした。基板はp型Si,溶液には特級エタノールを使用し,薄膜の評価はSEM,FIBおよびラマン分光器を用いて行った。上記補助電極を用いてDLC膜の作製を行った結果,基板の損傷を回避できることがわかった。一方,成膜時における電極,補助電極,基板の各距離は生成される膜質に影響した。また,基板と補助電極の距離が近い場合には緻密な膜が生成できた。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *プラズマCVD ,  *液相 ,  *電極 ,  基板 ,  ケイ素 ,  走査電子顕微鏡 ,  *照射損傷 ,  *補助電極 ,  *相
準シソーラス用語： メッシュ電極 ,  SEM【顕微鏡】

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 液中プラズマ ,  CVD ,  新技術 ,  研究