特許

J-GLOBAL ID：201103051539490130

多孔質膜およびその生成装置と生成方法

発明者： 豊田 洋通 ,  岡部 永年 ,  野村 信福
出願人/特許権者： 国立大学法人愛媛大学
代理人 (1件)： 松島 理
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-045546
公開番号（公開出願番号）：特開2005-232555
特許番号：特許第4370378号
出願日： 2004年02月23日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】膜を形成する物質を含む原料液体を保持するための容器と、膜中に空孔を生じさせる物質を供給するための空孔形成物供給手段と、液体中に電磁波を照射して液中でプラズマを発生させるための電磁波照射手段と、液体中で基板を保持する基板取り付け部とを有する多孔質膜生成装置。

IPC (4件)：

C23C 26/00 ( 200 6.01) ,  H05H 1/24 ( 200 6.01) ,  F01D 5/28 ( 200 6.01) ,  F02C 7/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C23C 26/00 E ,  H05H 1/24 ,  F01D 5/28 ,  F02C 7/00 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• セラミック材料のコーティング及びコーティングを施す方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-326213   出願人：ユナイテッドテクノロジーズコーポレイション
• 遮熱コーティング部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-231042   出願人：株式会社東芝