プラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：内藤浩樹 , 永野大介 , 藤井兼太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-109815
公開番号（公開出願番号）：特開2004-319473
特許番号：特許第4691896号
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を基板保持具に保持させて成膜を行う成膜工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、成膜に際し、成膜室内には複数の基板保持具が配置され、前記基板保持具は繰り返し使用し、前記成膜工程は、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている前記基板保持具と、付着した膜を除去した状態とした前記基板保持具とを、前記成膜室内に混在させて行い、前記成膜室内において、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている前記基板保持具の数が、付着した膜を除去した状態とした前記基板保持具の数より多いことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (2件)：