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J-GLOBAL ID：201202201602513150   整理番号：12A0683569

液中プラズマ蒸着法におけるダイヤモンドの最適生成条件の検討

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著者 (4件)： 豊田洋通 (愛媛大) ,  小久保光一郎 (愛媛大) ,  野村信福 (愛媛大) ,  向笠忍 (愛媛大)
資料名： 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会中国四国支部総会・講演会(CD-ROM))
巻： 50th  ページ： ROMBUNNO.302  発行年： 2012年02月28日 
JST資料番号： L0015B  ISSN： 2424-2764  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液中プラズマ化学蒸着法におけるダイヤモンドの生成には溶液のCHOの比率,また基板温度が重要である。本研究では使用している溶液のメタノールとエタノールの比率,および基板温度を数段階に分けて変化させ,成膜時に最も高効率な溶液比率,基板温度を選定した。実験後に成膜状況をSEMにより評価すると溶液の混合比率はメタノール:エタノール=95:5,基板温度は680°Cの条件が最も高効率な実験条件であることがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *化学蒸着 ,  *薄膜 ,  プラズマ応用 ,  構成 ,  最適条件 ,  *基板温度 ,  最適温度 ,  薄膜形成 ,  *鉱石 ,  *宝石

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 液中プラズマ ,  蒸着 ,  ダイヤモンド