特許

J-GLOBAL ID：201203027550284797

プラズマ用アンテナ電極及びプラズマ発生装置

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発明者： 豊田 洋通 ,  野村 信福
出願人/特許権者： 国立大学法人愛媛大学
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-267354
公開番号（公開出願番号）：特開2012-119145
出願日： 2010年11月30日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】1つのアンテナ電極から大きなプラズマを発生させることができるプラズマ用アンテナ電極及びプラズマ発生装置を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は、マイクロ波を受信してプラズマを発生させるプラズマ用アンテナ電極であって、マイクロ波を受信する主受信部21と、主受信部21の一端から延びる第一電極部22と、主受信部21の他端から延び、先端が第一電極部22の先端と離間且つ近接している第二電極部23と、を備える導体からなり、導体のうち主受信部がマイクロ波を受信して、定常波を発生させることを特徴とする。 【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

マイクロ波を受信してプラズマを発生させるプラズマ用アンテナ電極であって、 前記マイクロ波を受信する主受信部と、 前記主受信部の一端から延びる第一電極部と、 前記主受信部の他端から延び、先端が前記第一電極部の先端と離間且つ近接している第二電極部と、 を備える導体からなり、 前記導体のうち主に前記主受信部が前記マイクロ波を受信して、定常波を発生させることを特徴とするプラズマ用アンテナ電極。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/511

FI (3件)：

H05H1/24 ,  H01L21/31 C ,  C23C16/511

Fターム (16件)：

4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030KA30 ,  5F045AA09 ,  5F045AB07 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AE29 ,  5F045AF03 ,  5F045EH02 ,  5F045EH19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-368829   出願人：国立大学法人愛媛大学
• 特開平2-192492
  
• 大気圧中でのプラズマ生成方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-172702   出願人：庄司多津男, 白岩慎一郎