特許

J-GLOBAL ID：201303049759674216

液中プラズマ用電極、液中プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法

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発明者： 服部 吉晃 ,  向笠 忍 ,  野村 信福 ,  豊田 洋通 ,  山下 浩
出願人/特許権者： 国立大学法人愛媛大学
代理人 (2件)： 松島 理 ,  小笠原 宜紀
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2011000536
公開番号（公開出願番号）：WO2011-099247
出願日： 2011年02月01日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：

液中プラズマ用電極1は、延在する内導体2と、内導体2の外周に設けられた誘電体3と、誘電体3の外周に設けられた外導体4とを有し、内導体2の先端部2aが誘電体3に覆われているものであり、電磁波をTEMモードまたは準TEMモードで送信し、小さい電力でも液中で安定してプラズマを発生させることができ、しかも損傷がおこりにくく、内導体2の金属成分が液体中に流出しない。

請求項（抜粋）：

延在する内導体と、内導体の外周に設けられた誘電体と、誘電体の外周に設けられた外導体とを有し、内導体の先端部が誘電体に覆われている液中プラズマ用電極。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  C02F 1/48 ,  C23C 16/26

FI (3件)：

H05H1/24 ,  C02F1/48 B ,  C23C16/26

Fターム (10件)：

4D061DA01 ,  4D061DB19 ,  4D061EA15 ,  4D061EB31 ,  4D061EB33 ,  4K030AA10 ,  4K030BA27 ,  4K030CA02 ,  4K030FA01 ,  4K030KA14