特許

J-GLOBAL ID：201303073815276103

液中プラズマを用いた成膜方法および液中プラズマ成膜装置

発明者： 奥田 真也 ,  下 俊久 ,  村瀬 仁俊 ,  豊田 洋通 ,  野村 信福
出願人/特許権者： 株式会社豊田自動織機 ,  国立大学法人愛媛大学
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-157727
公開番号（公開出願番号）：特開2008-308730
特許番号：特許第4915697号
出願日： 2007年06月14日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第一の原料を含む液体中に、第二の原料を含む固体からなる供給源と基材とを互いに対向させて配設する配設工程と、 前記供給源と前記基材との間を連続して接続する気相空間を形成する気相空間形成工程と、 前記供給源を溶融および/または蒸発させることで前記第二の原料を前記液体および/または前記気相空間中に供給する第二原料供給工程と、 前記第一の原料からなるプラズマまたは該第一の原料と前記第二の原料とからなるプラズマを前記気相空間に発生させるプラズマ発生工程と、 を経て、前記基材の表面に前記第一の原料および前記第二の原料の分解成分を堆積させることを特徴とする液中プラズマを用いた成膜方法。

IPC (1件)：

C23C 16/505 ( 200 6.01)

FI (1件)：

C23C 16/505