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J-GLOBAL ID：201702244656261145   整理番号：17A0381681

有効剛性摂動の検出方式を用いたマイクロ共振器に基づく静電電荷センサ【Powered by NICT】

Electrostatic charge sensor based on micro resonator with sensing scheme of effective stiffness perturbation

著者 (4件)： Chen Dongyang (The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Zhao Jiuxuan (The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Wang Yinshen (The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Xie Jin (The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1208-1211  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ電気機械システム技術に基づく高感度共鳴静電電荷センサは電荷を測定するために提案した。測定中に,入力電荷は,双音叉共振器の有効剛性を変化させ,共振周波数シフトに導く横方向静電力を生成する。電荷センシング機能性は実験的に検証し,感度は4.4×10~ 4Hz/fC~2であることが分かった。は,提案した方式が従来の軸歪変調対応物と比較して,より高い感度を持つことを示した。電荷センシング方式は,品質因子を改善する付加的なエネルギー伝送路を作成するためにデバイス内の電気的結合を紹介した。機械的非線形性に関連する線形伝達と不安定性と関連した共鳴周波数安定性を調べた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 非線形性 ,  *共振器 ,  *摂動 ,  線形性 ,  共振周波数 ,  *電荷 ,  エネルギー移動 ,  音叉 ,  *微小共振器 ,  周波数安定度 ,  高感度 ,  品質因子 ,  静電気力 ,  *電荷センサ ,  *有効剛性

分類 (3件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 有効剛性 ,  摂動 ,  マイクロ共振器