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文献
J-GLOBAL ID：201702255373298318
整理番号：17A0018459 液中プラズマジェットによる高速膜生成装置の開発
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佐藤泰輔
(愛媛大 大学院)
,
(愛媛大)
, 豊田洋通
(愛媛大)
資料名：
日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集
(日本材料学会四国支部学術講演会講演概要集)
日本材料学会四国支部学術講演会講演論文集 について
巻： 14th ページ： 7-8 発行年： 2016年
JST資料番号： L5884A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマ
, プラズマ について
*薄膜
, 薄膜 について
構成
, 構成 について
*装置
, 装置 について
高速度
, 高速度 について
*液中プラズマ
, 液中プラズマ について
*ダイヤモンド膜
, ダイヤモンド膜 について
*製造装置
, 製造装置 について
薄膜形成
薄膜形成 について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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成膜
成膜 について
分類 (1件)：
分類
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薄膜成長技術・装置
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(BK14020I)
薄膜成長技術・装置 について
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タイトルに関連する用語
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液中プラズマ
, 液中プラズマ について
ジェット
, ジェット について
膜生成
, 膜生成 について
開発
開発 について
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