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J-GLOBAL ID：201702273024150232   整理番号：17A0400540

自己組織化マップネットワークと大津アルゴリズムを用いたTSV欠陥のX線検査【Powered by NICT】

X-ray inspection of TSV defects with self-organizing map network and Otsu algorithm

著者 (6件)： Shen Junjie (State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Chen Pengfei (State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Su Lei (Jiangsu Key Laboratory of Advanced Food Manufacturing Equipment & Technology, Jiangnan University, Wuxi 214122, China) ,  Shi Tielin (State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Tang Zirong (State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Liao Guanglan (State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 67  ページ： 129-134  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スルーシリコンビア(TSV)は3D集積化において最も重要な要素の一つである,未充填底と正孔のような欠陥は非常に一般的である。欠陥検出は,製品品質を改善するために非常に重要である。本研究では,X線画像を用いた非破壊TSV欠陥検出法を紹介した。TSVの代表的な七つの特徴を画像から抽出し,分類と試験のための自己組織化マップ(SOM)ネットワークに入力した。結果は正常TSVと欠損TSVはSOMネットワークにより明らかに識別できることを実証した。TSV内のボイドは更なるOtsuアルゴリズムを用いて定性的に位置し,SEM画像で検証した。これらはSOMネットワークとOtsuアルゴリズムを用いたTSV欠陥のX線検査の実現可能性を証明した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *X線検査 ,  故障検出 ,  *ネットワーク ,  製品品質 ,  *アルゴリズム ,  X線画像 ,  *X線 ,  正孔 ,  *自己組織化特徴マップ ,  画像 ,  シリコン貫通ビア
準シソーラス用語： SEM画像 ,  三次元集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Si貫通電極(TSV) ,  欠陥検査 ,  X線 ,  自己組織化マップネットワーク ,  大津アルゴリズム

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自己組織化マップ ,  大津 ,  アルゴリズム ,  TSV ,  欠陥 ,  X線検査