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J-GLOBAL ID：200902147263464985   整理番号：00A0558925

マイクロ超音波センサの開発に向けたPZT薄膜の多段階プロセスによる厚膜化

著者 (8件)： 三好弘己 (関西大) ,  青柳誠司 (関西大) ,  李欣山 (セイコーエプソン) ,  TEERAMONGKONRASMEE A (大阪府産業技総研) ,  山下馨 (大阪大) ,  田中恒久 (大阪府産業技総研) ,  鈴木義彦 (大阪府産業技総研) ,  奥山雅則 (大阪大)
資料名： マイクロメカトロニクス学術講演会講演論文集
巻： 2000  号： 春季  ページ： 5-6  発行年： 2000年03月17日 
JST資料番号： L3944A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超音波センサは他のセンサと比較して処理時間が短く,小型・軽量...

シソーラス用語： *超音波応用 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロ ,  超音波センサ ,  開発 ,  PZT ,  薄膜 ,  段階 ,  プロセス ,  厚膜