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J-GLOBAL ID：200902246501198596   整理番号：09A0007108

TEGチップを用いたオープン故障の解析

Analysis of Open Faults using TEG Chip

著者 (8件)： 堤利幸 (明治大 大学院理工学研究科) ,  刈谷泰由紀 (明治大 大学院理工学研究科) ,  山崎浩二 (明治大 情報コミュニケーション) ,  橋爪正樹 (徳島大 大学院ソシオテクノサイエンス研究部) ,  四柳浩之 (徳島大 大学院ソシオテクノサイエンス研究部) ,  高橋寛 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  樋上喜信 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  高松雄三 (愛媛大 大学院理工学研究科)
資料名： 情報処理学会研究報告  (IPSJ SIG Technical Reports)
巻： 2008  号： 111(SLDM-137)  ページ： 19-24  発行年： 2008年11月10日 
JST資料番号： Z0031B  ISSN： 0919-6072  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体技術の高集積化が進みLSIの故障検出や故障診断が難しくなってきている。特に,オープン故障への対策はLSIの微細化に伴いますます重要となってきているが,オープン故障の実用的なモデル化はいまだなされていない。そこで,我々はオープン故障を組み込んだTEG(Test Element Group)チップを作製し,その測定データに基づいたオープン故障のモデル化に取り組んでいる。本研究では,TEGチップの測定データの解析を行い,実チップ中の近接する信号線がオープン故障の信号線に実際にどのような影響を及ぼしているかについて報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *LSI【IC】 ,  切断 ,  電気故障 ,  微細加工 ,  半導体チップ ,  モデリング ,  計測システム ,  *モデル ,  CAD【計算機】 ,  *故障モデル ,  断線
準シソーラス用語： TEGチップ ,  オープン故障

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  CAD,CAM  (JE10000A)

タイトルに関連する用語 (3件)： TEG ,  オープン故障 ,  解析