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J-GLOBAL ID：200902251359451460   整理番号：05A0624409

フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロセンサ作製プロセス

Fabrication Process of Ultrasonic Micro Sensor Using the Amorphous Fluorocarbon Polymer Film

著者 (6件)： 田中恒久 (大阪府産業技術総合研) ,  LEE Seungmock (大阪府産業技術総合研) ,  井上幸二 (大阪府産業技術総合研) ,  青柳誠司 (関西大) ,  山下馨 (大阪大) ,  奥山雅則 (大阪大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-05  号： 1-11  ページ： 29-32  発行年： 2005年 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS技術を用いて作製する超音波マイクロアレイセンサの共振...

シソーラス用語： 超音波応用計測 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (4件)：

• 田中恒久. 超音波マイクロアレイセンサ用加算機能付きBBDの開発. 電学論E. 2005, 125, 4, 188-195
• YAMASHITA, K. Arrayed ultrasonic microsensors with high-directivity for in-air use using PZT thin film on silicon diaphragm. Sensors and Actuators A, Phs. 2002, 97-98C, 1-3, 302-307
• LEE, S. Sensitivity of Ultrasonic Sensor Structures Having Multilayer Diaphragm Structure. JJAP. 2004, 43, 12A, L1534-L1536
• YOUNG, D. Vibration of Rectangular Plates by the Ritz Method. Journal of Applied Mechanics. 1950, 14, 448-453

タイトルに関連する用語 (5件)： フッ素系樹脂 ,  超音波 ,  マイクロセンサ ,  作製 ,  プロセス