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J-GLOBAL ID：201102281504800589   整理番号：11A0902271

小型共振アンテナを用いた液中プラズマダイヤモンド生成装置の開発

著者 (4件)： 豊田洋通 (愛媛大) ,  由井陽介 (愛媛大) ,  野村信福 (愛媛大) ,  向笠忍 (愛媛大)
資料名： 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演概要集)
巻： 49th  ページ： 437-438  発行年： 2011年02月23日 
JST資料番号： L0015A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液中プラズマ化学蒸着法は,高速で質の高いダイヤモンド膜の生成が可能である。また,従来の気相中での方法と比べて装置も簡単で安全である。しかしながら,装置に使われているマイクロ波発振器は非常に高価である。本研究では,マイクロ波の発振源として電子レンジを用いたダイヤモンド合成装置の開発を行った。まず,電子レンジ内でプラズマを発生させるために最適な電極の形状や寸法について検討した。その後,作成した最適な電極を用いて液中プラズマ化学蒸着装置を開発し,ダイヤモンド膜の生成を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *ダイヤモンド ,  マイクロ波 ,  発振器 ,  *電子レンジ ,  *薄膜 ,  電極 ,  *ダイヤモンド膜 ,  薄膜形成 ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： 成膜

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 共振 ,  アンテナ ,  液中プラズマ ,  ダイヤモンド ,  生成装置 ,  開発