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J-GLOBAL ID:201402220409766252   整理番号:14A1401353

液中プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の形成

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著者 (3件):
資料名:
巻: 2014  号: 秋季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.H36  発行年: 2014年09月01日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究の目的は種々の基板上に,液中プラズマCVD法を用いてダイヤモンド膜を形成することである。本報告では,基板として,銅およびダイヤモンドを用いている。銅基板上には,多結晶ダイヤモンド膜が形成されたが,銅とダイヤモンドの熱膨張係数の差が大きく,剥離が発生した。ダイヤモンド単結晶基板上では,(100)基板上には,エピタキシャル成長し,(111)基板上には,多結晶ダイヤモンド膜が形成された。膜生成速度は32μm/hであった。(著者抄録)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
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その他の無機化合物の薄膜 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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