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J-GLOBAL ID：202202289310197473   整理番号：22A1707419

薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上

Enhancement of crystal anisotropy and ferroelectric property by decreasing thickness in (Al,Sc)N films

著者 (16件)： 安岡慎之介 (東京工大) ,  水谷涼一 (東京工大) ,  大田怜佳 (東京工大) ,  白石貴久 (東京工大) ,  清水荘雄 (東京工大) ,  清水荘雄 (物材研) ,  清水荘雄 (JST-さきがけ) ,  安井伸太郎 (東京工大) ,  江原祥隆 (防衛大) ,  西田謙 (防衛大) ,  上原雅人 (産業技術総合研) ,  山田浩志 (産業技術総合研) ,  秋山守人 (産業技術総合研) ,  今井康彦 (JASRI) ,  坂田修身 (JASRI) ,  舟窪浩 (東京工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 69th  ページ： ROMBUNNO.25p-E305-4  発行年： 2022年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： X線回折 ,...

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分類 (3件)： その他の光デバイス  (BD06060O) ,  生体膜一般  (EF04010G) ,  蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜化 ,  Al ,  Sc ,  結晶 ,  異方性 ,  強誘電特性