特許

J-GLOBAL ID：202403003699683991

走査プローブ顕微鏡用の探針とその作製方法

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発明者： 横田 泰之 ,  小林 柚子 ,  高橋 康史
出願人/特許権者： 国立研究開発法人理化学研究所 ,  国立大学法人東海国立大学機構
代理人 (2件)： 堀田 実 ,  野村 俊博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2023-010322
公開番号（公開出願番号）：特開2024-106166
出願日： 2023年01月26日
公開日（公表日）： 2024年08月07日
要約：

【課題】電気化学走査トンネル顕微鏡等の走査プローブ顕微鏡用の探針の強度を、探針に使用される金属の種類によらずに確保できるようにする。 【解決手段】走査プローブ顕微鏡用の探針10は、絶縁材料で形成された針本体1と導電性材料部3と金属部2を備える。針本体1は、絶縁材料で形成されている。針本体1は、内部領域4を区画する内周面1aと、先端面1bとを有する。内部領域4は、針本体1の中心軸Cの方向に先端面1bまで延びている。導電性材料部3は、内部領域4に設けられる。金属部2は、探針10の先端部を構成するように導電性材料部3に結合されている。 【選択図】図2A

請求項（抜粋）：

走査プローブ顕微鏡用の探針であって、 絶縁材料で形成された針本体と、 金属材料で形成され、前記針本体の先端側に位置して前記探針の先端部となる金属部と、を備える、探針。

IPC (2件)：

G01Q 60/16 ,  G01Q 60/60

FI (2件)：

G01Q60/16 111 ,  G01Q60/60 101

引用特許：

出願人引用 (2件)

• プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-129791   出願人：株式会社日立製作所
• 全固体電池の化学状態測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2021-019910   出願人：株式会社SOKEN, トヨタ自動車株式会社