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J-GLOBAL ID：200902201471991136   整理番号：05A0816476

“開拓”進むテラヘルツ領域 集積回路評価用レーザーテラヘルツ放射顕微鏡の開発

Development of a Laser Terahertz Emission Microscope for Inspecting Electrical Failures in Integrated Circuits

著者 (5件)： 山下将嗣 (理研) ,  紀和利彦 (岡山大 工) ,  斗内政吉 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  大谷知行 (理研) ,  川瀬晃道 (理研)
資料名： 光学  (Japanese Journal of Optics)
巻： 34  号： 9  ページ： 472-474  発行年： 2005年09月10日 
JST資料番号： G0125B  ISSN： 0389-6625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大規模集積回路(LSI)の検査と故障の解析に,レーザーTHz...

シソーラス用語： *集積回路 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (5件)：

• MITTLEMAN, D. ed. Sensing with Terahertz Radiation. 2003
• KIWA, T. Laser terahertz-emission microscope for inspecting electrical failures in integrated circuits. Opt. Lett. 2003, 28, 2058-2060
• YAMASHITA, M. Imaging of large-scale integrated circuits using a laser terahertz emission microscopy. Opt. Express. 2005, 13, 115-120
• NIKAWA, K. LSI failure analysis using focused laser beam heating. Microelectron. Reliab. 1997, 37, 1841-1847
• NIKAWA, K. Laser-SQUID microscope for LSI chip defect analysis. Vortex Electronics and SQUIDs. 2003, 224-232

タイトルに関連する用語 (8件)： 開拓 ,  テラヘルツ ,  集積回路 ,  評価 ,  レーザー ,  テラヘルツ放射 ,  顕微鏡 ,  開発