Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi. Measuring optical properties of advanced nano/micro-periodic structures fabricated by multi-exposure interference lithography. JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020. 2020
Shusei Masuda, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu. High presicion measurement of elalon optical length using optical comb pulsed interference. Proceedings of the 20th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2020. 2020. 323-324
Data Processing Method for Geometrical Forms with form deviations in Coordinate Metrology(共著)
Computer-Aided Tolerancing 1996
Works (3件)：
バーチャルCMM(三次元測定株)の国際標準化
1999 - 2001
International Standard Development of Virtual CMM
1999 - 2001
物理標準の高度化に関する研究
1997 - 2001
学歴 (4件)：
1979 - 1982 東京大学 工学系研究科 精密機械工学 博士課程修了 工学博士
1977 - 1979 東京大学 工学系研究科 精密機械工学 修士課程修了
1975 - 1977 東京大学 工学部 精密機械工学科 工学学士
1973 - 1975 東京大学 教養学部理科一類
学位 (1件)：
工学博士 (東京大学)
経歴 (6件)：
2020/06 - 現在 東京大学 名誉教授
2001/11 - 2020/03 東京大学大学院工学系研究科 教授
1993/04 - 2001/10 東京大学大学院工学系研究科 助教授
1987/10 - 1993/03 東京電機大学 助教授
1985/04 - 1987/09 東京電機大学 講師
1982/04 - 1985/03 東京大学工学部 助手
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受賞 (23件)：
2019/11 - ASPEN2019 Best Paper Award Spectroscopic interferometer with a large length range by rotating diffraction grating
2019/09 - 精密工学会 精密工学会賞
2019/03 - 精密工学会 精密工学会論文賞 One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure
2018/11 - ICPE2018 Best Paper Award Analysing tapered fiber-microsphere coupling for diameter measurement of microsphere using whispering gallery mode resonance
2017/09 - ISMTII2017 Best Paper Award In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography
2016/10 - 経済産業省 工業標準化事業表彰:経済産業大臣表彰
2016/09 - 日本機械学会 生産加工・工作機械部門 優秀講演論文賞 High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe
2014/09 - LMPMI2014 Excellent Paper Award Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb
2013/11 - 日本機械学会 生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰 Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift
2013/04 - Measurement Science and Technology Measurement Science and Technology Highlights of 2012 Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry
2013/03 - 精密工学会 精密工学会フェロー
2012/03 - 精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞 Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy
2011/11 - ASPEN2011 Best Paper Award Remote Internal Diameter Measurement of Ring Gauge based on a Low-coherence Tandem Scheme
2010/09 - IMEKO TC14 Outstanding Paper Award Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains’ Constructive Interference - Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order -
2009/11 - ASPEN2009 Best Paper Award In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles
euspen
, 日本ロボット学会
, 計測自動制御学会
, 精密工学会
, The Society of Instrument and Control Engineers
, The Robotics Society of Japan
, The Japan Society for Precision Engineering
