研究者
J-GLOBAL ID:200901071959608000
更新日: 2024年09月19日
江刺 正喜
Esashi Masayoshi
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所属機関・部署:
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター について
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職名:
学術研究員
その他の所属(所属・部署名・職名) (1件):
株式会社メムス・コア
CTO
ホームページURL (1件):
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/
研究分野 (1件):
ナノマイクロシステム
研究キーワード (2件):
センサー
, 微小電気機械システム
競争的資金等の研究課題 (1件):
2009 - 2014 マイクロシステム融合研究開発
論文 (664件):
江刺正喜, 小島明, 池上尚克, 宮口裕, 越田信義. アクティブマトリックスナノ結晶シリコン電子源アレイを用いた超並列電子線直接描画装置の開発. Microsystems & Nanoengineering. 2015. 1. 15029
Hironori Seki, Takahito Ono, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi. Bonding of a Si microstructure using field-assisted glass melting. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2008. 18. 8. 085003
Y. G. Jiang, T. Ono, M. Esashi. Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection. Measurement Science and Technology. 2008. 19. 8. 084011
Mona J.K. Klein, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Jan G. Korvink. Process for the fabrication of hollow core solenoidal microcoils in borosilicate glass. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2008. 18. 7. 075002
Jan H. Kuypers, Leonhard M. Reindl, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi. Maximum accuracy evaluation scheme for wireless SAW delay-line sensors. IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL. 2008. 55. 7. 1640-1652
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MISC (103件):
Masayoshi Esashi. Wafer level packaging of MEMS. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. 2008. 18. 7. 073001
江刺正喜. MEMSセンサ、半導体の"DNA"獲得で高性能、複合機能、高信頼へと進化(機器開発者のためのセンサ工学). 日経エレクトロニクス. 2008. 975. 20-33
江刺正喜. MEMSの現状と今後の展望(後編). Encore. 2008. 56. 13-16
江刺正喜. MEMSの現状と今後の展望(前編). Encore. 2008. 55. 10-12
江刺正喜. MEMSの最新技術動向. KEC情報. 2008. 204. 4-9
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特許 (89件):
マイクロミラー、及びマイクロミラーデバイス
マイクロミラー、及びマイクロミラーデバイス
樹脂製マイクロマシン部品の製造方法
積層型圧電アクチュエータ
型及びその製造方法、ならびに前記型を用いた光学素子の製造方法
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書籍 (107件):
超並列電子ビーム描画装置の開発-集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
東北大学出版会 2018
これからのMEMS - LSIとの融合
森北出版 2016
はじめてのMEMS
森北出版 2011
2008マイクロマシン/MEMS技術大全
電子ジャーナル 2008
次世代センサハンドブック
培風館 2008
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講演・口頭発表等 (619件):
産業に広く役立つMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の最前線
(第9回サイテックサロン 2008)
オープンコラボレーションでMEMSビジネスを成功へ
(日独マイクロ・ナノビジネスフォーラム 2008)
東北地域におけるMEMS人材育成への取組み
(MEMS/MS応用研究フォーラム 2008)
MEMSとカーエレクトロニクス
(MEMS/MS応用研究フォーラム 2008)
MEMS技術の現状と将来展望
(エレクトロニクス実装学会、関西ワークショップ2008 2008)
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学歴 (1件):
1976 - 現在 東北大学 工学研究科 電子工学専攻
学位 (1件):
工学博士
経歴 (1件):
2019/04 - 現在 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 学術研究員
受賞 (3件):
2016/06 - 米国電気工学会 西澤潤一メダル 自動車・携帯機器・工業・医療におけるMEMSの開拓
2015/01 - 米国電気工学会 アンドリューグローブ賞 輸送・製造におけるMEMS開発
2006/05 - 紫綬褒章 マイクロシステム学に関する研究
所属学会 (3件):
IEEE
, 応用物理学会
, 電気学会
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