杦本敏司

Sugimoto Satoshi

所属機関・部署：
職名：准教授
その他の所属（所属・部署名・職名） (3件)：

研究分野 (3件)：ナノバイオサイエンス , ナノ材料科学 , プラズマ科学

研究キーワード (4件)：プラズマ応用 , プラズマ計測 , Plasma Application , Plasma Measurement

競争的資金等の研究課題 (21件)：

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論文 (119件)：

Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi. Silicon oxide film formation by spraying tetraethyl orthosilicate onto substrate with simultaneous low-energy SiO+ ion-beam irradiation. AIP Advances. 2023. 13. 11
Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi. Deposition of germanium dioxide films by the injection of oxygen ion beam in conjunction with hexamethyldigermane. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 2023. 1056. 168707-168707
Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi. Low energy Si+, SiCH5+, or C+ beam injections to silicon substrates during chemical vapor deposition with dimethylsilane. Heliyon. 2023. e19002-e19002
Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Masato Kiuchi. Low-energy Ar+ ion-beam-induced chemical vapor deposition of silicon dioxide films using tetraethyl orthosilicate. Heliyon. 2023. e14643-e14643
Satoru Yoshimura, Satoshi Sugimoto, Takae Takeuchi, Kensuke Murai, Masato Kiuchi. Injection of low-energy SiCH₅⁺ ion-beam to Si substrate during chemical vapor deposition process using methylsilane. AIP Advances. 2022. 12. 11. 115104-115104

MISC (64件)：

小玉城, 杉本敏司, 伊藤智子, ANJAR Anggraini Harumningtyas, 吉川秀樹, 浜口智志, 海渡貴司. プラズマ技術を用いた骨分化促進能を有する人工骨の開発. 日本整形外科学会雑誌. 2019. 93. 8
吉村智, 杉本敏司, 竹内孝江, 村井健介, 木内正人. 質量分離有機金属分子イオンビーム堆積法のストイキオメトリ成膜への応用. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2019. 80th
大野一平, 伊藤智子, A.H Anjar, 杉本敏司, 小玉城, 千々松良太, 海渡貴司, 朝森千永子, 浜口智志. プラズマ表面処理を用いた官能基修飾によるバイオマテリアルの生体親和性向上. プラズマ・核融合学会年会(Web). 2018. 35th
幾世和将, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 木内正人, 浜口智志. 低エネルギーイオンビーム照射によるPMMAエッチングイールドへの紫外線照射および水素プラズマ暴露の影響. 真空に関する連合講演会講演予稿集. 2012. 53rd
吉村智, 塚崎泰裕, 杉本敏司, 木内正人, 木内正人, 浜口智志. 低エネルギーイオンビーム照射によるPMMAエッチングイールドの測定と水素プラズマ暴露のエッチングイールドへの影響. 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM). 2012. 59th

Works (1件)：

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

受賞 (1件)：

所属学会 (5件)：

電子情報通信学会 , 日本物理学会 , 高温学会 , プラズマ・核融合学会 , 応用物理学会

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杦本 敏司