木村高志

キムラタカシ | Kimura Takashi

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (1件)： http://plasma.web.nitech.ac.jp/

研究分野 (1件)：プラズマ科学

研究キーワード (1件)： -

競争的資金等の研究課題 (2件)：

論文 (71件)：

講演・口頭発表等 (25件)：

Preparation of TiN films by reactive high power pulsed sputter Penning-type discharges
(39th Internatioal Symposium on Dry Process 2017)
Plasma Based Nitrogen Ion Implantation to Hydrogenated Diamond-like Carbon Films
(11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2017)
対向タ-ゲット型反応性HPPSによるTiCN膜の作製
(第78回応用物理学会秋季学術講演会 2017)
ホロ-形状ターゲットを持つ高電力パルススパッタの電気特性
(第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム 2017)
Surface Modification of DLC Films by Plasma Based Nitrogen Ion Implantation Method
(日本MRS年次大会 2016)

委員歴 (1件)：

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木村 高志