研究者
J-GLOBAL ID:201901020919867627   更新日: 2024年09月23日

岡部 貴雄

オカベ タカオ | Okabe Takao
所属機関・部署:
職名: 特任助教
研究分野 (3件): 設計工学 ,  高分子材料 ,  機械要素、トライボロジー
研究キーワード (3件): 高真空対応機構,流体潤滑軸受, ,  レジスト材料, 光硬化性樹脂 ,  精密位置決め機構,流体軸受,リソグラフィ,レジストプロセス,真空
競争的資金等の研究課題 (9件):
  • 2024 - 2027 超高真空下における流体軸受内部のイオン液体挙動の解明
  • 2024 - 2025 超高真空環境対応モータおよび風損レス環境を利用した動力計測手法の開発
  • 2024 - 2025 ウエハ静電チャック付き半導体製造装置用回転機構の超高真空特性評価
  • 2024 - 2025 ウエハ又はガラス板固定機構に関する研究開発
  • 2023 - 2024 超高真空対応非接触通電機構を有する半導体製造装置用回転ステージの開発
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論文 (54件):
  • Jinchen Tang, Takao Okabe, Katsuhiko Nishimura, Anna Sciazko, Hang Zhang, Naoki Shikazono. Frost growth on silver iodide (AgI) stripe patterned surface under condensation frosting condition. International Journal of Heat and Mass Transfer. 2024. 235. 126237-126237
  • Takao Okabe, Kei Somaya. Development of a wafer cooling system using ionic liquid under high vacuum condition for semiconductor fabrication device. Vacuum. 2024. 229. 113570-113570
  • Gao Yao, Takao Okabe, Naoki Shikazono. Ni migration on porous yttria-stabilized zirconia and yttria-micropatterned fuel electrodes in solid oxide fuel cells. Journal of Power Sources. 2024. 609. 234720-234720
  • Takao Okabe, Kei Somaya. Development of a Hydrostatic Bearing in High Vacuum Using an Ionic Liquid for a Semiconductor Fabrication Device. Advances in Science and Technology. 2024. 139. 33-40
  • Takao Okabe, Jinchen Tang, Katsuhiko Nishimura, Naoki Shikazono. Fabrication of Silver Iodide (AgI) Patterns via Photolithography and Its Application to In-Situ Observation of Condensation Frosting. Nanomaterials. 2023. 13. 23. 3035-3035
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MISC (2件):
特許 (11件):
  • 潤滑剤の製造方法および潤滑剤
  • 基板処理装置及び基板保持方法
  • 基板支持器、基板処理装置及び電力の供給方法
  • 測定装置、測定方法及び校正方法
  • 成膜方法及び成膜装置
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講演・口頭発表等 (57件):
  • High-vacuum-compatible Liquid Cooling System using an Ionic Liquid for Semiconductor Fabrication Process
    (The 5th International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies (IC3MT2024) 2024)
  • Frost growth comparison on stripe-patterned surfaces of Silver Iodide (AgI) and Platinum (Pt)
    (2024年度日本冷凍空調学会年次大会 2024)
  • Effect of Grain Boundary on Electrochemical Reaction of Nicke/Yttria-Stabilized Zirconia Triple Phase Boundary
    (16th European SOFC & SOE Forum)
  • Frost Shape on Silver Iodide (AgI) Micropatterns under De-sublimation Condition
    (The 3rd Asian Conference on Thermal Sciences (ACTS 2024) 2024)
  • パターンYSZ多孔体燃料極におけるNi移動のPhase Fieldシミュレーション
    (第28回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集 2024)
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学歴 (3件):
  • 2014 - 2017 東京理科大学 大学院 工学研究科 機械工学専攻
  • 2010 - 2012 東京理科大学 大学院 工学研究科 機械工学専攻
  • 2006 - 2010 東京理科大学 工学部 機械工学科
学位 (1件):
  • 博士(工学) (東京理科大学)
経歴 (4件):
  • 2022/04 - 現在 東京大学 生産技術研究所 特任助教
  • 2021/10 - 現在 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 新原理コンピューティング研究センター 招聘研究員
  • 2017/04 - 2022/03 東京理科大学 先進工学部 電子システム工学科 助教
  • 2012/04 - 2014/01 公益財団法人鉄道総合技術研究所 車両制御技術研究部 研究員
委員歴 (4件):
  • 2024/03 - 現在 日本機械学会 広報
  • 2019/06 - 2020/05 日本トライボロジー学会 トライボロジー会議 2020 春 実行委員
  • 2018/06 - 2019/05 日本トライボロジー学会 トライボロジー会議 2019 春 実行委員
  • 2018/06 - 2019/05 日本トライボロジー学会 トライボロジー会議 2019 春東京 実行委員
受賞 (2件):
  • 2023/08 - 17th Int. Heat Transf. Conf. Best Poster Award Artificial 3-D Frost Structure Reconstruction by Generative Adversarial Network
  • 2023/02 - 公益社団法人日本冷凍空調学会 公益社団法人日本冷凍空調学会学術賞 レプリカ法による霜三次元構造の再構築
所属学会 (5件):
公益社団法人 日本伝熱学会 ,  公益社団法人日本冷凍空調学会 ,  日本機械学会 ,  日本トライボロジー学会 ,  公益社団法人精密工学会
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