研究者
J-GLOBAL ID:200901010891244049
更新日: 2020年09月01日
齋藤 順雄
サイトウ ノブオ | Saito Nobuo
研究分野 (4件):
構造材料、機能材料
, 電気電子材料工学
, 結晶工学
, 応用物性
研究キーワード (2件):
薄膜機能材料
, Functional Thin Films
競争的資金等の研究課題 (2件):
半導体薄膜の作製と特性
Preparation and Properties of semiconductors
MISC (31件):
N. Saito, Y. Igasaki. Electrical and optical properties of InN films prepared by reactive sputtering. Applied Surface Science. 2001. 169-170. 349-352
N Saito, Nakaaki, I, S Nakamura, S Yoshioka, T Yamaguchi. Properties of amorphous ternary alloy films a-SixCyGez : H prepared by magnetron co-sputtering. APPLIED SURFACE SCIENCE. 2001. 169. 472-475
N Saito, Y Inui, T Yamaguchi, Nakaaki, I. Indium doping of amorphous SiC : H films prepared by reactive magnetron co-sputtering. THIN SOLID FILMS. 1999. 353. 1-2. 189-193
S Nakamura, N Saito, S Yoshioka, Nakaaki, I, Y Suzaki. Adhesion strength of plasma-assisted CVD B(C,N) film to silicon substrate. JOURNAL OF ADHESION SCIENCE AND TECHNOLOGY. 1999. 13. 5. 615-627
Effects of gallium doping on the properties of amorphous SIC : H films. J. Appl. Phys. 1998. 83. 4. 2067-2071
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Works (8件):
エレクトロクロミック薄膜
2001 -
Electro chromic thin films
2001 -
CdS薄膜
1999 -
CdS films
1999 -
SiC薄膜のドーピンク効果
1988 - 1992
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学位 (1件):
工学博士 (静岡大学)
経歴 (1件):
宮崎大学 工学部 材料物理工学科 教授
委員歴 (1件):
1995 - 1996 電気学会 四国支部協議員
受賞 (1件):
1988 - 斎藤研究奨励賞
所属学会 (4件):
電気化学会
, 電気学会
, 応用物理学会
, 日本真空協会
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