研究者
J-GLOBAL ID：200901019744781826   更新日: 2024年08月19日

土屋 智由

ツチヤ トシユキ | Tsuchiya Toshiyuki
所属機関・部署：
京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻

京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 について


職名： 教授
ホームページURL (1件)： http://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/
研究分野 (5件)： 機械力学、メカトロニクス ,  ロボティクス、知能機械システム ,  材料力学、機械材料 ,  ナノマイクロシステム ,  ナノ材料科学
研究キーワード (12件)： マイクロ材料の機械的物性評価 ,  マイクロ・ナノ機械の信頼性 ,  慣性センサ ,  MEMS,マイクロシステム ,  慣性力センサ ,  マイクロマシン ,  マイクロシステム工学 ,  MEMS ,  薄膜材料の機械物性評価 ,  Mechanical Properties Evaluation of Thin films ,  MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) ,  Micro System Engineering
競争的資金等の研究課題 (22件)：
  • 2024 - 2028 面と面の接触の理解に向けてーへき開ナノギャップを用いた物理現象計測ー
  • 2023 - 2028 境界潤滑の科学-添加剤吸着層の構造・物性に基づく低摩擦現象の本質的理解
  • 2023 - 2026 境界潤滑層の構造とダイナミクス-低摩擦をもたらす潤滑油分子の最適設計
  • 2021 - 2024 ナノギャップの熱輸送計測ー放射から熱伝導への遷移領域の解明ー
  • 2021 - 2024 微小電極間エレクトロスプレー現象解明による超小型宇宙推進機の多用途化
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論文 (177件)：
  • Tomoko Hirayama, Naoki Yamashita, Waka Yamamoto, Kenta Shirode, Akira Okada, Naoya Hatano, Toshiyuki Tsuchiya, Masako Yamada. Adsorption Characteristics and Mechanical Responses of Lubricants Containing Polymer Additives under Fluid Lubrication with a Narrow Gap. Langmuir. 2024. 40. 12. 6229-6243
  • Wei Yu, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya. Enhancing responsivity and detection limit in tunable nano-electromechanical system resonator mass sensors. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 3. 03SP74-03SP74
  • Wei Yu, Yuma Ohara, Claude Meffan, Jun Hirotani, Amit Banerjee, Toshiyuki Tsuchiya. Achieving Ultrawide Tunability in Monolithically Fabricated Si Nanoresonator Devices. Nano Letters. 2023. 23. 24. 11517-11525
  • Yuanlin Xia, Lei Zhong, Jiaxing Tan, Zhuqing Wang, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya. Alternating a-C:H coating effect on torsional strength of silicon beam for micromirrors. Sensors and Actuators A: Physical. 2023. 363. 114713-114713
  • Masaki Shimofuri, Taichi Murakami, Shugo Miyake, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya. Numerical calculation of thermoreflectance coefficient of c-Si for wavelengths of 200-800 nm and temperatures of 300-500 K. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. 11. 112006-112006
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MISC (402件)：
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特許 (24件)：
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書籍 (8件)：
  • 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
    コロナ社 2015 ISBN:9784339046434
  • 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法
    コロナ社 2015
  • Reliability of MEMS : testing of materials and devices
    Wiley-VCH 2013 ISBN:9783527335015
  • シリコンの破壊と疲労
    エヌ・ティー・エス 2012
  • 力学センサ
    オーム社 2008
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講演・口頭発表等 (8件)：
  • Material and Device Reliability in Si MEMS Sensors
    (The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012) 2012)
  • CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS (NEDO project)
    (Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009 2009)
  • Accelerated lifetime test method for structural materials in MEMS devices using resonant vibration
    (Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop 2008 2008)
  • Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices
    (20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007) 2007)
  • MEMS Reliability
    (The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures 2007)
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学歴 (3件)：
  • 1999 - 2002 名古屋大学 大学院工学研究科 マイクロシステム工学専攻
  • 1991 - 1993 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻
  • 1987 - 1991 東京大学 工学部 精密機械工学科
学位 (2件)：
  • 修士(工学) (東京大学)
  • 博士(工学) (名古屋大学)
経歴 (5件)：
  • 2019/09 - 現在 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授
  • 2007/04 - 2019/08 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 准教授
  • 2005/04 - 2007/03 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 助教授
  • 2004/03 - 2005/03 京都大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 助教授
  • 1993/04 - 2004/02 株式会社豊田中央研究所
委員歴 (1件)：
  • 電気学会 論文委員会(幹事),論文編修委員会(委員)
受賞 (1件)：
  • 2000 - 電気学会論文発表賞
所属学会 (6件)：
Institute of Electrical and Electronics Engineers ,  電気学会 ,  日本機械学会 ,  Materials Research Society ,  SPIE, the international society for optics and photonics ,  応用物理学会
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