研究者
J-GLOBAL ID:200901019744781826
更新日: 2024年12月18日
土屋 智由
ツチヤ トシユキ | Tsuchiya Toshiyuki
所属機関・部署:
職名:
教授
ホームページURL (1件):
http://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/
研究分野 (5件):
機械力学、メカトロニクス
, ロボティクス、知能機械システム
, 材料力学、機械材料
, ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
研究キーワード (12件):
マイクロ材料の機械的物性評価
, マイクロ・ナノ機械の信頼性
, 慣性センサ
, MEMS,マイクロシステム
, 慣性力センサ
, マイクロマシン
, マイクロシステム工学
, MEMS
, 薄膜材料の機械物性評価
, Mechanical Properties Evaluation of Thin films
, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
, Micro System Engineering
競争的資金等の研究課題 (22件):
- 2024 - 2028 面と面の接触の理解に向けてーへき開ナノギャップを用いた物理現象計測ー
- 2023 - 2028 境界潤滑の科学-添加剤吸着層の構造・物性に基づく低摩擦現象の本質的理解
- 2023 - 2026 境界潤滑層の構造とダイナミクス-低摩擦をもたらす潤滑油分子の最適設計
- 2021 - 2024 ナノギャップの熱輸送計測ー放射から熱伝導への遷移領域の解明ー
- 2021 - 2024 微小電極間エレクトロスプレー現象解明による超小型宇宙推進機の多用途化
- 2022 - 2024 理想ナノすきまにおける境界/流体潤滑場での原理的摩擦力学特性の取得
- 2021 - 2023 MEMS共振器を用いたリザバーコンピューティング
- 2020 - 2023 MEMS共振器を用いたリザバーコンピューティング
- 2018 - 2021 推力密度の飛躍的な増加と冗長系の確保が可能な超小型エレクトロスプレー宇宙推進機
- 2015 - 2017 3D-MEMS加工技術を利用したマイクロ宇宙推進機の抜本的な推進効率の向上
- 2014 - 2016 ナノギャップの熱物性計測デバイス
- 2012 - 2014 顕微ラマン分光を用いたMEMS共振構造体の時間分解局所応力測定
- 2007 - 2011 シリコンマイクロ構造体の高信頼化に資する表面酸化反応疲労現象の解明
- 2007 - 2011 シリコンマイクロ構造体の高信頼化に資する表面酸化反応疲労現象の解明
- 2007 - 2007 カーボンナノ構造体力学特性評価のための静電力駆動、静電容量検出MEMSデバイス
- 2006 - 2007 MEMSデバイスの高信頼化のための単結晶シリコンの表面反応疲労現象の理解と制御
- 静電容量型慣性力センサに関する研究
- 薄膜材料の機械的強度、疲労評価
- マイクロマシンの研究
- Capacitive inertia sensor
- Evaluation of mechanical strength and fatigue of thin films
- Study on Micromachines
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論文 (186件):
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Tomoko Hirayama, Naoki Yamashita, Waka Yamamoto, Kenta Shirode, Akira Okada, Naoya Hatano, Toshiyuki Tsuchiya, Masako Yamada. Adsorption Characteristics and Mechanical Responses of Lubricants Containing Polymer Additives under Fluid Lubrication with a Narrow Gap. Langmuir. 2024. 40. 12. 6229-6243
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Wei Yu, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya. Enhancing responsivity and detection limit in tunable nano-electromechanical system resonator mass sensors. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 3. 03SP74-03SP74
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Wei Yu, Yuma Ohara, Claude Meffan, Jun Hirotani, Amit Banerjee, Toshiyuki Tsuchiya. Achieving Ultrawide Tunability in Monolithically Fabricated Si Nanoresonator Devices. Nano Letters. 2023. 23. 24. 11517-11525
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Yuanlin Xia, Lei Zhong, Jiaxing Tan, Zhuqing Wang, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya. Alternating a-C:H coating effect on torsional strength of silicon beam for micromirrors. Sensors and Actuators A: Physical. 2023. 363. 114713-114713
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Masaki Shimofuri, Taichi Murakami, Shugo Miyake, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya. Numerical calculation of thermoreflectance coefficient of c-Si for wavelengths of 200-800 nm and temperatures of 300-500 K. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. 11. 112006-112006
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MISC (398件):
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舌雅也, 渡辺嵩都, 四竈泰一, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, 平井義和. マイクロ流体デバイス内のNV中心の蛍光スペクトル測定. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 83rd
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三浦大知, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由. 心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス. 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集. 2021. 43rd (CD-ROM)
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宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修. 有限要素法による経上皮電気抵抗値と測定誤差の電極パターン依存性の解析. 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM). 2020. 2020
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亀井謙一郎, 楊建東, 飯田慶, 寺田志穂, 土屋智由, 田畑修, 平井義和. 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ. 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集. 2020. 42nd (Web)
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宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修. マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法. 電気学会論文誌 E. 2020. 140. 10
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特許 (24件):
書籍 (8件):
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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
コロナ社 2015 ISBN:9784339046434
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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法
コロナ社 2015
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Reliability of MEMS : testing of materials and devices
Wiley-VCH 2013 ISBN:9783527335015
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シリコンの破壊と疲労
エヌ・ティー・エス 2012
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力学センサ
オーム社 2008
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講演・口頭発表等 (8件):
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Material and Device Reliability in Si MEMS Sensors
(The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012) 2012)
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CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS (NEDO project)
(Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009 2009)
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Accelerated lifetime test method for structural materials in MEMS devices using resonant vibration
(Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop 2008 2008)
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Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices
(20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007) 2007)
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MEMS Reliability
(The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures 2007)
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学歴 (3件):
- 1999 - 2002 名古屋大学 大学院工学研究科 マイクロシステム工学専攻
- 1991 - 1993 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻
- 1987 - 1991 東京大学 工学部 精密機械工学科
学位 (2件):
- 修士(工学) (東京大学)
- 博士(工学) (名古屋大学)
経歴 (5件):
- 2019/09 - 現在 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授
- 2007/04 - 2019/08 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 准教授
- 2005/04 - 2007/03 京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 助教授
- 2004/03 - 2005/03 京都大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 助教授
- 1993/04 - 2004/02 株式会社豊田中央研究所
委員歴 (1件):
- 電気学会 論文委員会(幹事),論文編修委員会(委員)
受賞 (1件):
所属学会 (6件):
Institute of Electrical and Electronics Engineers
, 電気学会
, 日本機械学会
, Materials Research Society
, SPIE, the international society for optics and photonics
, 応用物理学会
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