ジャイロセンサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-182150
公開番号（公開出願番号）：特開2014-130129
出願日： 2013年09月03日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：

【課題】衝撃を受けたときの出力誤差を抑制でき、より正確な角速度検出を行うことが可能なジャイロセンサを提供する。【解決手段】外側駆動錘31内においてx軸方向に並べて検出錘32、33を配置し、連成バネ44によって両検出錘32、33を連結する。このように、連成バネ44によって両検出錘32、33を連結することで、同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiとを分離することが可能となる。このため、衝撃を受けたときの出力誤差を抑制でき、より正確な角速度検出を行うことが可能なジャイロセンサとすることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定部(20)が備えられた基板(10)と、前記固定部(20)に対して支持梁(41)を介して接続されると共に、前記基板の平面上の一方向をx軸方向、該x軸方向に対する垂直方向をy軸方向として、角速度検出の際に、前記支持梁の変位に基づいてxy平面上において往復回転振動もしくはy軸方向に往復振動させられる質量部(31a)を有する駆動錘(31)を備えた可動部(30)と、前記駆動錘に対して検出梁(42、43)を介して接続され、前記x軸方向に並べられた2つの検出錘(32、33)と、前記2つの検出錘を連結する連成バネ(44)と、前記基板の平面に対する垂直方向をz軸方向として、前記2つの検出錘それぞれから前記z軸方向において所定距離離間して配置された検出電極(14)と、を有し、角速度印加に伴って前記2つの検出錘が前記z軸方向において互いに逆方向に振動させられることで前記2つの検出錘と前記検出電極との間の距離が変化し、前記2つの検出錘と前記検出電極の間に構成された2つの容量値が変化することに基づいて、2つの容量値の変化を示す信号の差動出力を用いて角速度検出を行うことを特徴とするジャイロセンサ。

IPC (3件)：

G01C 19/570 , G01C 19/574 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 205 , G01C19/56 247 , H01L29/84 Z

Fターム (19件)：

2F105AA02 , 2F105BB03 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA31 , 4M112CA33 , 4M112DA02 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112FA01 , 4M112FA03

引用特許：

審査官引用 (6件)

振動型角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-204751 出願人：株式会社デンソー
直交する1次振動および2次振動の相互干渉を防止した回転速度ジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-517158 出願人：ハーン-シッカート-ゲゼルシャフトフアアンゲワンテフォルシュンクアインゲトラーゲナーフェライン
連結棒を有する回転速度センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-557769 出願人：コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト

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