特許
J-GLOBAL ID：201903011214353851

多成分材料のプラズマエッチング加工方法

発明者：
山村 和也

山村 和也 について

, 
大久保 雄司

大久保 雄司 について

, 
孫 栄硯

孫 栄硯 について


出願人/特許権者：
国立大学法人大阪大学

国立大学法人大阪大学 について


代理人 (5件)： 柳野 隆生 ,  柳野 嘉秀 ,  森岡 則夫 ,  関口 久由 ,  中川 正人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-017230
公開番号（公開出願番号）：特開2019-131451
出願日： 2018年02月02日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：
【課題】多成分材料で高硬度かつ化学的不活性な材料であっても、スクラッチや加工変質層の生成がなく、効率よく低コストにダメージのない均一で良好な表面粗さが得られる加工方法を提供せんとする。【解決手段】プラズマ発生条件を、多成分材料を構成する各成分からなる材料のエッチングレートが、ほぼ同じレートとなる範囲内のプラズマ発生条件に設定し、該プラズマ発生条件を用いて、多成分材料をプラズマエッチング加工することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
多成分材料のプラズマエッチング加工方法であって、 プラズマ発生条件を、多成分材料を構成する各成分からなる材料のエッチングレートが、ほぼ同じレートとなる範囲内のプラズマ発生条件に設定し、 該プラズマ発生条件を用いて、多成分材料をプラズマエッチング加工することを特徴とするプラズマエッチング加工方法。
IPC (3件)：
C04B 41/91 ,  H05H 1/30 ,  B01J 19/08
FI (3件)：
C04B41/91 Z ,  H05H1/30 ,  B01J19/08 E
Fターム (16件)：
2G084AA02 ,  2G084BB14 ,  2G084CC14 ,  2G084CC34 ,  2G084DD04 ,  2G084DD17 ,  2G084GG02 ,  2G084GG07 ,  4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075CA47 ,  4G075CA51 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB41 ,  4G075FB04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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