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J-GLOBAL ID：200902065405483358   整理番号：91A0640701

ねじ駆動による超精密位置決め(第2報) 比例ゲイン特性の改善によるナノメータ位置決め

Ultra-precision Positioning Using Leadscrew Drive(2nd Report). Nanometers Accuracy Positioning by Improved Proportional Gain Characteristic.

著者 (5件)： 川瀬佳洋 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  大塚二郎 (東京工大 精密工研) ,  深田茂生 (東京工大 精密工研) ,  青木芳人 (松下通信工業) ,  飯田昇 (東京工大 大学院 総合理工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 57  号： 7  ページ： 1211-1216  発行年： 1991年07月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記の位置決め装置で比例ゲイン特性を改善して,位置の偏り誤差...

シソーラス用語： サーボモータ ,...

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分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (7件)：

• 1) 森山茂夫ほか : 電圧アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4 (1984) 718.
• 2) 内田憲男ほか : 自重補償機構を備えた縦形の超精密XYステージ, 精密工学会誌54, 5 (1988) 884.
• 3) H. Yonezawa, Y. Hirota and H. Sasai : Positioning Table with High Accuracy and High Speed, Ann, CIRP, 39, 1, (1990) 433.
• 4) 青木芳人, 川瀬佳洋, 深田茂生, 大塚二郎 : ねじ駆動による超精密位置決め (第1報) -すべりねじとボールねじによる基礎的研究, 精密工学会誌, 56, 11 (1990) 2033.
• 5) 二見 茂ほか : ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め (第1報) -システムの構成と粗・微動制御, 精密工学会誌, 57, 3 (1991) 550.

タイトルに関連する用語 (4件)： ねじ ,  精密位置決め ,  比例ゲイン ,  ナノメータ