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J-GLOBAL ID：200902104925295754   整理番号：02A0698137

単ループアンテナの容量結合プラズマ生成

A Study of Capacitively Coupled Plasma Generation in Single-Loop Antennas.

著者 (3件)： SHINDO H (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  KUDO D (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  FUJII S (ADTEC Plasma Technol. Co., Ltd., Fukuyama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 41  号： 8B  ページ： L956-L959  発行年： 2002年08月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘導結合プラズマ生成に共通して利用できる単ループアンテナシス...

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,...

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分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (9件)：

• 1) Y. Horiike, H. Okano, T. Yamazaki and H. Horie: Jpn. J. Appl. Phys. 20 (1981) L819.
• 2) K. Suzuki, S. Okudaira, N. Sakudo and I. Kanomata: Jpn. J. Appl. Phys. 16 (1977) 1979.
• 3) A. J. Perry, D. Vender and W. Boswell: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>9</B> (1991) 310.
• 4) J. Hopwood, C. R. Guarnieri, S. J. Whitehair and J. J. Cuomo: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>11</B> (1993) 147.
• 5) T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) L43.

タイトルに関連する用語 (2件)： ループアンテナ ,  容量結合プラズマ