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J-GLOBAL ID：200902112150998500   整理番号：00A0586523

走査型力顕微鏡のための三次元駆動圧電マイクロカンチレバー

3-dimensional Piezodriven Microcantilever for Scanning Force Microscope.

著者 (5件)： 片岡憲一 (東大 大学院) ,  CHU J (機械技研) ,  前田龍太郎 (機械技研) ,  伊藤寿浩 (東大 先端科学技研セ) ,  須賀唯知 (東大 先端科学技研セ)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 6  ページ： 965-969  発行年： 2000年06月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記顕微鏡(SFM)の小型化を目的として,圧電薄膜を用い,自...

シソーラス用語： *力顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (10件)：

• ITOH, T. Scanning Force Microscope Using Piezoelectric Excitation and Detection. IEICE Trans.Electron. 1995, E78-C, 146
• LEE, Ch. Micromachined Piezoelectric Force Sensors Based on PZT Thin Films. IEEE Trans.Ultrasonics Ferroelectrics,and Frequency Control. 1996, 43, 553
• ITOH, T. New Dynamic Scanning Force Micriscopes Using Piezoelectric PZT Microcantilevers. Proc.Transducers'97. 1997, 1, 459
• CHU, J. Frequency Modulation Detection High Vacuum Scanning Force Microscope with a Self-oscillating Piezoelectric Cantilever. J.Vac.Sci.Technol.B. 1997, 15, 1647
• ITOH, T. Independent Parallel Scanning Force MIcroscopy Using Pb(Zr,Ti)O_3 Microcantilever Array. Proc.MEMS'97. 1997, 78

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査型力顕微鏡 ,  圧電 ,  マイクロカンチレバー