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J-GLOBAL ID:200902115698660078   整理番号:00A0692961

ディンプル鋳型を用いた微小パターン刻印リソグラフィー

Fine pattern imprint lithography using dimpled mold.
著者 (5件):
資料名:
巻: 13  号:ページ: 435-439  発行年: 2000年 
JST資料番号: L0202A  ISSN: 0914-9244  CODEN: JSTEEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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異方性湿式化学エッチング(anisotropic wet c...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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