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J-GLOBAL ID：200902116040699180   整理番号：99A0245607

陽極処理で形成されたシリコンチップからなるマイクロカンチレバーの製作

Fabrication of Microcantilever with a Silicon Tip Prepared by Anodization.

著者 (2件)： HIGA K (Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN) ,  ASANO T (Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37  号： 12B  ページ： 7078-7080  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)用の標記マイクロカンチレバーの製作プ...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• 1) T. R. Albrecht, S. Akamaine, T. E. Carver and C. F. Quate: J. Vac. Sci. Technol. A 8 (1990) 3386
• 2) K. Higa and T. Asano: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 6648
• 3) K. Higa and T. Asano: Appl. Phys. Lett. 71 (1997) 983
• 4) K. Higa, K. Nishii and T. Asano: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 7741
• 5) K. Higa, K. Nishii and T. Asano: J. Vac. Sci. Technol. B 16 (1998) 651

タイトルに関連する用語 (4件)： 陽極処理 ,  シリコンチップ ,  マイクロカンチレバー ,  製作