窒素を含む炭素薄膜作製のための多重毛細管励起ビーム源の応用

文献

J-GLOBAL ID：200902117521941380 整理番号：98A0669488

An application of multicapillary excited beam source to fabricate nitrogen-containing carbon thin films.

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資料名：
巻： 54 号： 1/3 ページ： 251-254 発行年： 1998年07月
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

イオンビーム支援薄膜を作製する小型イオンビーム源(EBS)装...

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その他の無機化合物の薄膜

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