文献

J-GLOBAL ID：200902121462845050   整理番号：93A0299293

機能化送りねじ機構 第1報,原理と試作機構の諸特性

An Active Lead Screw Mechanism. 1st Report, Principle and Basic Characteristics.

著者 (4件)： 佐藤海二 (東京工大 精密工研) ,  下河辺明 (東京工大 精密工研) ,  今田滋彦 (東京工大 大学院) ,  村山禎恒 (東京工大 大学院)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 59  号： 558  ページ： 392-399  発行年： 1993年02月 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 機能化送りねじ機構は,圧電素子によるバックラッシ可変機能を有...

シソーラス用語： 送り装置 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0299293&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0045B") }}

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

引用文献 (6件)：

• (1) 渋川哲郎•杉田和彦,工作機械における超精密位置決め技術の現状,精密工学会誌,57-10,(1991)1717.
• (2) 鳥海正樹,半導体製造装置における位置決め技術,精密工学会誌,57-10,(1991)1726.
• (3) 内田憲男•高橋良彦•山田昇•広川利夫,自重補償機構を傭えた縦形の超精密XYステージ-摩擦の影響を考慮した位置決め-,精密工学会誌,54-5,(1988)884.
• (4) 青木芳人•川瀬佳洋•深田茂生•大塚二郎,ねじ駆動による超精密位置決め(第1報)-すべりねじとボールねじによる基礎的研究-,精密工学会誌, 56-11,(1990)2033.
• (5) D. E. Luttrell and T. A. Dow, Development of a high speed system to control dynamic behaviour of mechanical structure, Precision Engineerinp, 9-4, (1987)191.

タイトルに関連する用語 (3件)： 送りねじ機構 ,  原理 ,  試作