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J-GLOBAL ID：200902124343496560   整理番号：01A0256074

プラズマCVMによる機能材料の切断加工 内周刃型切断加工装置の試作とその切断加工特性

Cutting of Functional Material by Plasma CVM. Development of the Cutting Machine with Inner Blade Electrode and Its Cutting Characteristics.

著者 (4件)： 森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67  号： 2  ページ： 295-299  発行年： 2001年02月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 機能材料の切断面を加工変質させない,プラズマCVM(Chem...

シソーラス用語： *機能材料 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (6件)：

• 高野幸男. エレクトロニクス用結晶材料の精密加工技術. 1985, 610
• 諏訪部仁. 硬脆材料の高能率・高精度スライシング加工. 1995, 222
• MORI, Y. Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining) : An Ultra Precision Machining Technique Using High-pressure Reactive Plasma. Nanotechnology. 1993, 4, 225
• 森勇藏. プラズマCVMの開発. 精密工学会誌. 2000, 66, 8, 1280
• 森勇藏. プテズマCVM法による集積型a-Si太陽電池のパターニングに関する研究(I). 1995年春季第42回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 1995, 850

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマCVM ,  機能材料 ,  切断加工 ,  内周刃 ,  切断加工装置 ,  試作 ,  加工特性