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J-GLOBAL ID：200902154622006749   整理番号：02A0625590

光硬化可能液体ポリマーを用いてインプリントされたパターンの均一性

Uniformity in Patterns Imprinted Using Photo-Curable Liquid Polymer.

著者 (6件)： HIROSHIMA H (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  INOUE S (Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN) ,  KASAHARA N (Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN) ,  TANIGUCHI J (Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN) ,  MIYAMOTO I (Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN) ,  KOMURO M (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 6B  ページ： 4173-4177  発行年： 2002年06月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インプリントリソグラフィは,低コスト装置を使用した高解像度,...

シソーラス用語： *リソグラフィー ,...
準シソーラス用語： 光橋架け ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (10件)：

• 1) S. Y. Chou, P. R. Krauss and P. J. Renstorm: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
• 2) S. Y. Chou, P. R. Krauss, W. Zhang, L. Guo and L. Zhuang: J. Vac. Sci. Technol. B15 (1997) 2897.
• 3) L. Guo, P. R. Krauss and S. Y. Chou: Appl. Phys. Lett. 71 (1997) 1881.
• 4) P. R. Krauss and S. Y. Chou: Appl. Phys. Lett. 71 (1997) 3174.
• 5) Z. Yu, S. J. Schablitsky and S. Y. Chou: Appl. Phys. Lett. 74 (1999) 2381.

タイトルに関連する用語 (3件)： 光硬化 ,  ポリマー ,  均一性