Zrの反応性スパッタリングによるZrO<sub>2</sub>堆積中の高エネルギー酸素イオン

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J-GLOBAL ID：200902158221691894 整理番号：02A0687161

Zrの反応性スパッタリングによるZrO₂堆積中の高エネルギー酸素イオン

Energetic oxygen ions in ZrO₂ deposition by reactive sputtering of Zr.

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巻： 66 号： 3/4 ページ： 279-284 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

Ar+O₂雰囲気中でのZrターゲットの...

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酸化物薄膜

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