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J-GLOBAL ID:200902158778113591   整理番号:01A0620247

低圧におけるバイアス促進核形成法を利用した核形成の特性

Characteristics of Nucleation Using the Bias-Enhanced Nucleation Method at Low Pressure.
著者 (4件):
資料名:
巻: 40  号: 4A  ページ: 2511-2517  発行年: 2001年04月15日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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低圧下の核形成特性を分析し,一様で高密度の広面積核形成が実現...
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分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  炭素とその化合物 
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